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长鑫存储申请半导体结构及其制作方法专利,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响

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长鑫存储申请半导体结构及其制作方法专利,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响

转自:金融界

长鑫存储申请半导体结构及其制作方法专利,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响

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长鑫存储申请半导体结构及其制作方法专利,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响

金融界2024年1月5日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其制作方法”,公开号CN117352491A,申请日期为2022年6月。

长鑫存储申请半导体结构及其制作方法专利,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响

专利摘要显示,本公开提供一种半导体结构及其制作方法,涉及半导体技术领域,半导体结构包括衬底,具有有源区,有源区包括源区和漏区;栅极,栅极设置于有源区上,位于源区和漏区之间;源极接触插塞,与源区连接;漏极接触插塞,与漏区连接;漏极接触插塞和源极接触插塞非对称设置,以减小栅漏耦合电容。本公开实施例所提供的半导体结构及其制作方法中,漏极接触插塞和源极接触插塞非对称设置,以使栅漏耦合电容小于栅源耦合电容,减小了栅漏耦合电容对半导体结构的不良影响,确保半导体结构具有良好的响应速度,缓解了半导体结构的响应延迟的问题。

标签: 半导体     长鑫     制作方法