尼康正开发锐布 Litho Booster 1000 对准站:可提升晶圆键合套刻精度 2025-12-13 12:43:05 出处:IT之家 热度:591 12 月 13 日消息,尼康本月 11 日宣布该企业正在加速推进新一代半导体工艺设备锐布 Litho Booster 1000 对准站的开发工作,计划于 2026 年下半年正式上市。